掃描電子顯微鏡的制造依據(jù)是電子與物質(zhì)的相互作用，采用不同的信息檢測(cè)器，使選擇檢測(cè)得以實(shí)現(xiàn)，如對(duì)二次電子，掃描電鏡的分辨率一般就是二次電子分辨率，可脫離原子成為自由電子，于試樣表面材料形貌分析觀察作柵網(wǎng)式掃描。
聚焦電子束與試樣相互作，產(chǎn)生二次電子發(fā)射電子顯微鏡正是根據(jù)上述不同信息產(chǎn)生的機(jī)理，產(chǎn)生的次級(jí)電子的多少與電子束入射角有關(guān)，也就是說(shuō)與樣品的表面結(jié)構(gòu)有關(guān)、組成、晶體結(jié)構(gòu)。
原則上講，利用電子和物質(zhì)的相互作用，圖像為立體形象，次級(jí)電子由探測(cè)體收集，并在那里被閃爍器轉(zhuǎn)變?yōu)楣庑盘?hào)，重金屬在電子束的轟擊下發(fā)出次級(jí)電子信號(hào)，標(biāo)本在固定，以及在可見(jiàn)，其中包括彈性背反射電子和非彈性背反射電子。
掃描電鏡是介于透射電鏡和光學(xué)顯微鏡之間的一種微觀形貌觀察手段，可直接利用樣品表面材料的物質(zhì)性能進(jìn)行微觀成像，現(xiàn)在市面上的掃描電鏡分為臺(tái)式掃描電鏡以及大型場(chǎng)發(fā)射掃描電鏡等。
1、掃描電鏡速度
掃描電子顯微鏡的真空要求和小容量的抽真空使臺(tái)式掃描電鏡抽真空的時(shí)間更短，因此比傳統(tǒng)落地式掃描電鏡能更快地呈現(xiàn)圖像，抽真空時(shí)間只有15秒，此外通常由用戶(hù)直接操作，節(jié)約了專(zhuān)職操作員執(zhí)行分析，準(zhǔn)備報(bào)告并傳達(dá)結(jié)果所需的時(shí)間。除了臺(tái)式掃描電鏡系統(tǒng)快速的響應(yīng)之外，分析即時(shí)性和用戶(hù)實(shí)時(shí)根據(jù)觀察結(jié)果來(lái)指導(dǎo)研究工作是具有相當(dāng)大的潛在價(jià)值的。
在一些應(yīng)用中，比如鈣鈦礦的觀察，因?yàn)殁}鈦礦在空氣中容易氧化，因此如果抽真空的時(shí)間過(guò)長(zhǎng)，樣品的表面形貌和成分會(huì)發(fā)生改變，顯微鏡能有效地減小鈣鈦礦的氧化。
2、掃描電鏡應(yīng)用
關(guān)于未來(lái)需求超過(guò)臺(tái)式掃描電鏡性能的擔(dān)憂(yōu)，應(yīng)該根據(jù)潛在需求的確定性和時(shí)機(jī)，以及對(duì)更高要求應(yīng)用的外部資源可用性來(lái)評(píng)估。掃描電子顯微鏡的初始投資也可以繼續(xù)提供回報(bào)，因?yàn)樵撓到y(tǒng)可用于補(bǔ)充未來(lái)的落地式掃描電鏡系統(tǒng)，如篩選樣品或繼續(xù)執(zhí)行日常分析，落地式掃描電鏡應(yīng)用于要求更高的應(yīng)用。
